天津某半导体设备加工芯片生产我们,晶圆手工加工进程中带来含硅、氟的唯一性工业生活污水,定制加工投资规模1200吨/日。工业生活污水基本成分繁杂,具有刺激性纳米技术级硅粒子及盐酸,传统的加工最简单的方法难易不合格。
废污水部分及來源
一般环保问题物
:溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
来自工艺
:晶圆刻蚀废污水(45%)、CMP化工自动化机械打蜡 废污水(40%)、机器设备擦拭水(15%)
治理 生产工艺环节
转型升级主要包括"化学工业石雕文化沉淀+特殊膜转移"工艺路线图:
钙盐水解
:添加氯化钙祛除氟铁离子(自动生成CaF2悠长岁月中)
斜管沉淀池作用
:复合型斜板沉淀池剂实现了橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔经膜挪用微细小粒
反构建系统性
:脱盐率>98%,回收分类处理率75%
减压蒸馏析出
:浓水段构建氟化物零进行排放
然后功能
氟化物酸度:<8mg/L(不低于中国四级标准10mg/L)
硅含氧量:<5mg/L
水资源现状英文造纸废水处理率:70%用以加热塔保湿补水
危废处理回收利用:蒸发掉残余物量较传统式加工制作工艺 削减60%