该晶圆产生厂是在苏北省市,首要生孩子销售89英寸半导体技术晶圆,日访问量污废水 尾气污染物条件量约800吨。伴随生孩子销售阶段中选用丰富氢氧化钠展开晶圆蚀刻,造成 污废水 中氟化物含量达到了200-300mg/L,远超祖国尾气污染物条件条件(10mg/L以上)。
废水处理方法含量及源头
化工废水核心发源这三个过程:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高质量浓度氟化物(HF)、盐酸及几瓶巨资属
化学式机械设备增加光泽(CMP)废水处理
:含微米级硅颗粒状、设计络合剂
机械设备的清洗工业废水
:含异丙醇、氟化物等充分物
治理 工艺技术流程步骤
应用"耐腐蚀积淀+混疑积淀+深度1活性炭过滤"三阶段除理软件:
一个处里
:污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,生成氟化钙悠长岁月中,氟化物除掉率达85%
特殊除理
:加上PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清理胶体溶液态破坏物
三类整理
:实现多物质过滤水器和抗逆性炭活性炭吸附,溢水氟化物质量浓度稳固在8mg/L下类
重要的机器设备是指:pH定时可以调节体系、斜管结晶池、板框厢式压滤机(废水脱水器)。
既定使用效果
投资项目正常运作四年监测方案数据表格表现:
氟化物月均有机废气浓度:7.2mg/L(降到国度规则)
COD除去率:92%
废水水分含量率:≤65%
年收废氟化钙副好产品约150吨,满足的污泥处置巧用