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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆产生厂是在苏北省市,首要生孩子销售89英寸半导体技术晶圆,日访问量污废水 尾气污染物条件量约800吨。伴随生孩子销售阶段中选用丰富氢氧化钠展开晶圆蚀刻,造成 污废水 中氟化物含量达到了200-300mg/L,远超祖国尾气污染物条件条件(10mg/L以上)。 废水处理方法含量及源头 化工废水核心发源这三个过程: 晶圆蚀刻繁琐流程 :含高质量浓度氟化物(HF)、盐酸及几瓶巨资属 化学式机械设备增加光泽(CMP)废水处理 :含微米级硅颗粒状、设计络合剂 机械设备的清洗工业废水 :含异丙醇、氟化物等充分物 治理 工艺技术流程步骤 应用"耐腐蚀积淀+混疑积淀+深度1活性炭过滤"三阶段除理软件: 一个处里 :污泥脱水氯化钙和氢防氧化钙,生成氟化钙悠长岁月中,氟化物除掉率达85% 特殊除理 :加上PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),清理胶体溶液态破坏物 三类整理 :实现多物质过滤水器和抗逆性炭活性炭吸附,溢水氟化物质量浓度稳固在8mg/L下类 重要的机器设备是指:pH定时可以调节体系、斜管结晶池、板框厢式压滤机(废水脱水器)。 既定使用效果 投资项目正常运作四年监测方案数据表格表现: 氟化物月均有机废气浓度:7.2mg/L(降到国度规则) COD除去率:92% 废水水分含量率:≤65% 年收废氟化钙副好产品约150吨,满足的污泥处置巧用

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